Montoya Contreras, Carlos Ramiro; Franco Pérez, Anthony Israel (2023) - [Director: Vélez Noboa, Brenme Marino]

En el presente trabajo de titulación se realizan simulaciones en el programa COMSOL Multifisica del estudio MEMS tipo cantiléver controlados por voltaje. Se estudia la deflexión los cantiléver, motivo por el cual se calcula diversos voltajes, como el voltaje Pull in, y se obtienen las gráficas de...